Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
от 28 октября 2013 г. N 1286-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ЭКСПОЗИЦИОННОЙ ДОЗЫ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ
ОСВЕЩЕННОСТИ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 1 - 10 нм
МЕТОДИКА ПОВЕРКИ
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Instruments for measurement of exposure and irradiance
in the wavelength range 1 to 10 nm. Verification procedure
ГОСТ Р 8.841-2013
Группа Т84.10
ОКС 17.020
ОКСТУ 0008
Дата введения
1 февраля 2015 года
Предисловие
1. Разработан Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ").
2. Внесен Техническим комитетом по стандартизации ТК 386 "Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии".
3. Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 октября 2013 г. N 1286-ст.
4. Введен впервые.
Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru).
1. Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового (далее - ЭУФ) излучения - радиометры (дозиметры) ЭУФ-излучения, используемые для измерений энергетической освещенности (далее - ЭО) и экспозиционной дозы (далее - ЭД) в диапазоне длин волн 1 - 10 нм, и устанавливает методику их поверки.
Средства измерений характеристик УФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 1 - 10 нм измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10-7 Дж, верхняя - не менее 2·10-1 Дж, и ЭО в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вт/м2, верхняя - не менее 20 Вт/м2.
Межповерочный интервал - один год.
2. Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм
ГОСТ Р 8.736-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
Примечание. При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячным информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3. Операции поверки
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
Наименование операции Номер пункта настоящего стандарта Проведение операций при поверке
первичной периодической
Внешний осмотр 8.1 + +
Опробование 8.2 + +
Определение метрологических характеристик 8.3 + +
Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности 8.3.1 + +
Определение погрешности абсолютной чувствительности 8.3.2 + +
Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений экспозиционной дозы и энергетической освещенности 8.3.3 + +
Определение погрешности угловой коррекции чувствительности 8.3.4 + +
Примечание. Знак "+" означает, что выполнение операций обязательно.
4. Средства поверки
При проведении поверки применяются средства, представленные в таблице 2.
Таблица 2
Номер пункта настоящего стандарта Наименование средства поверки, метрологические характеристики
8.3.1 Установка для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн 1 - 10 нм в составе вторичного эталона потока излучения и энергетической освещенности ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО) - не более 3%
8.3.2 Установка для измерений абсолютной чувствительности радиометров ЭУФ-излучения в диапазоне длин волн 1 - 10 нм в составе вторичного эталона потока излучения и энергетической освещенности ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 3%
8.3.3 Установка для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров ЭУФ-излучения в составе вторичного эталона потока излучения и энергетической освещенности ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 5%
8.3.4 Установка для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров ЭУФ-излучения в составе вторичного эталона потока излучения и энергетической освещенности ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 5%
5. Требования к квалификации поверителей
Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с радиометрами (дозиметрами) и используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и радиометры (дозиметры) ЭУФ-излучения.
6. Требования безопасности
При поверке радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.
7. Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды ......................... (20 +/- 5) °C;
- относительная влажность воздуха ...................... (65 +/- 15)%;
- атмосферное давление ................................. 84 - 104 кПа;
- напряжение питающей сети ............................. (220 +/- 4) В;
- частота питающей сети ................................ (50 +/- 1) Гц.
8. Подготовка и проведение поверки
8.1. Внешний осмотр
При внешнем осмотре должно быть установлено:
- соответствие комплектности радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения паспортным данным;
- отсутствие механических повреждений блоков радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;
- четкость надписей на панели радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения;
- наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения);
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения.
8.2. Опробование
При опробовании должно быть установлено:
- наличие показаний радиометра при освещении ЭУФ-излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров.
8.3. Определение метрологических характеристик
8.3.1. Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности
Погрешность радиометра (дозиметра) ЭУФ-излучения, вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее - ОСЧ) поверяемого радиометра (дозиметра) от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального диапазона 1 - 10 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого радиометра сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника ЭУФ-излучения, поверенного в ранге рабочего эталона (далее - РЭ) по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 1 до 10 нм. Измерения ОСЧ
Для просмотра документа целиком скачайте его >>>
