Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 24 октября 2014 г. N 1428-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ
ОПРЕДЕЛЕНИЕ КЛАССА ЧИСТОТЫ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ
КОЭФФИЦИЕНТА ЗАПАСА
Cleanrooms. Determination of cleanliness class using
a safety factor
ГОСТ Р 56191-2014
ОКС 13.040.01
19.020
ОКП 63 1000
94 1000
Дата введения
1 декабря 2015 года
Предисловие
1. Разработан Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) при участии Открытого акционерного общества "Научно-исследовательский центр контроля и диагностики технических систем" (АО "НИЦ КД").
2. Внесен Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты".
3. Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 24 октября 2014 г. N 1428-ст.
4. Введен впервые.
Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru).
Введение
Отличительной особенностью чистых помещений является то, что в них контролируется счетная концентрация частиц в воздухе, причем эта концентрация ниже, чем в обычных помещениях. Чистые помещения широко применяются в электронной, космической, фармацевтической, приборостроительной, пищевой и других отраслях промышленности, а также в больницах, обеспечивая требуемый технический уровень изделий, их надежность и безопасность.
Основным показателем чистого помещения является класс чистоты. Для каждого класса чистоты установлены предельно допустимые концентрации частиц с размерами, равными и большими заданного. Классы чистоты и методы проверки соответствия им установлены в ГОСТ ИСО 14644-1.
Методики проверки соответствия при испытаниях чистого помещения зависят от числа точек отбора проб:
- при числе точек отбора проб от 2 до 9 требуется вычисление верхнего доверительного предела концентрации частиц;
- при числе точек отбора проб от 10 и более оценка соответствия ведется по среднему значению концентраций частиц.
Требуемое число точек отбора проб равно корню квадратному из площади помещения с округлением до ближайшего большего значения.
Практическое использование методики вычисления верхних доверительных пределов представляет определенную сложность и неудобно в массовом применении.
В связи с этим ведется поиск альтернативных методов, позволяющих ограничиться оценкой класса чистоты только по средним значениям концентраций частиц без вычисления верхних доверительных пределов. Применение таких альтернативных методов допускается ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
Существует практика искусственного увеличения числа точек отбора проб до значения, равного или большего 10. Это позволяет избежать трудоемкого вычисления верхних доверительных пределов концентрации частиц, но приводит к увеличению трудозатрат на испытания чистых помещений.
Настоящий стандарт устанавливает метод <1>, позволяющий не увеличивать число точек отбора проб, если оно находится в пределах от 2 до 9. Это достигается за счет установления более жестких требований к чистоте в виде предельно допустимых концентраций частиц в воздухе в зависимости от числа точек отбора. Данный подход нашел успешное применение для правильно разработанных, построенных и эксплуатируемых чистых помещений, в которые заложен запас по чистоте, гарантирующий соответствие заданному классу чистоты при различных колебаниях концентрации частиц.
--------------------------------
<1> Федотов А.Е., Федотов Г.А. Применение коэффициента запаса для чистых помещений с небольшим числом точек отбора проб. - "Технология чистоты" N 2/2013, с. 10 - 16.
Fedotov A., Fedotov G. Cleanroom Classification with Safety Margin Factor for Small Number of Sample Locations and Other Issues. ESTECH 2013 - 59th Annual Technical Meeting of IEST, April 29 - May 2, 2013, San Diego, USA.
1. Область применения
Настоящий стандарт устанавливает метод оценки соответствия классу чистоты чистого помещения при числе точек отбора проб от 2 до 9 с помощью коэффициентов запаса. Метод альтернативен методу по ГОСТ ИСО 14644-1, обеспечивая сопоставимую с ним точность.
Метод основан на статистическом подходе по ГОСТ ИСО 14644-1, но предлагает обратный порядок действий в вычислениях, что позволяет упростить испытания чистых помещений. Метод применим и для других статистических моделей. Метод является универсальным для любых законов распределения. В стандарте приведены примеры применения метода для нормального распределения, используемого в ГОСТ ИСО 14644-1.
2. Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующий стандарт:
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
Примечание. При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.
3. Термины и определения
В настоящем стандарте использованы термины и определения по ГОСТ ИСО 14644-1, а также следующие термины с соответствующими определениями:
3.1. предел класса чистоты CL: Максимально допустимая концентрация аэрозольных частиц для чистых помещений заданного класса с заданным размером частиц согласно ГОСТ ИСО 14644-1.
3.2. гарантированный уровень чистоты Ca: Максимально допустимая средняя концентрация частиц для заданного числа точек отбора проб, размера частиц и класса чистоты (Ca < CL).
Примечание. Если средняя концентрация частиц по всем точкам отбора проб не превышает гарантированного уровня, то класс чистоты помещения соответствует ГОСТ ИСО 14644-1.
3.3. коэффициент запаса Ka: Величина, равная отношению предела класса чистоты к гарантированному уровню чистоты (CL/Ca).
3.4. область запаса: Величина, равная разности предела класса чистоты и гарантированного уровня чистоты (CL - Ca).
3.5. средняя концентрация для m точек отбора проб Xa: Среднее арифметическое значений концентрации частиц по всем точкам отбора проб m, , m в пределах от 2 до 9.
4. Условные обозначения и сокращения
В настоящем стандарте использованы следующие обозначения и сокращения:
CL - предел класса чистоты, частиц/м3;
Ca - гарантированный уровень чистоты, частиц/м3;
Ka - коэффициент запаса;
m - число точек отбора проб;
s - стандартное отклонение (среднеквадратичное отклонение) (см. ГОСТ ИСО 14644-1);
t0,95 - 95-й процентиль t-распределения Стьюдента с m - 1 степенями свободы;
Xi - средняя концентрация для точки отбора проб i, частиц/м3;
Xa - средняя концентрация для m точек отбора проб, частиц/м3;
95% ВДП - верхний предел 95%-го доверительного интервала.
5. Методика расчета
5.1. Подготовка к работе
При подготовке следует вычислить гарантированный уровень Ca класса для заданных условий и отношения R = s/Xa, когда 95% ВДП = CL. Далее при испытаниях вычисления ВДП не требуются.
5.2. Оценка класса чистоты во время испытаний чистого помещения
При проведении испытаний рассчитывают среднюю концентрацию частиц Xa для выбранных точек отбора проб (число точек отбора проб от 2 до 9).
Чистое помещение соответствует классу, если Xa < Ca (см. рисунок A.2).
5.3. Расчет коэффициента запаса
Коэффициент запаса Ka определяют как отношение предела класса чистоты по стандарту CL к гарантированному уровню Ca по формуле
, (1)
где CL = 95% ВДП (см. Приложение A).
Коэффициент запаса Ka зависит от:
- значения R = s/Xa;
- числа точек отбора проб m.
Для применения метода следует:
- установить, какое значение R = s/Xa применимо;
- рассчитать Ka для каждого числа точек отбора проб m от 2 до 9 для заданного значения R.
Приведенные ниже примеры показывают чувствительность модели к этому значению.
Для просмотра документа целиком скачайте его >>>
