Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 22 ноября 2013 г. N 1657-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
ЧАСТЬ 9
КЛАССИФИКАЦИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПО КОНЦЕНТРАЦИИ ЧАСТИЦ
Cleanrooms and associated controlled environments.
Part 9. Classification of surface cleanliness
by particle concentration
ISO 14644-9:2012
Cleanrooms and associated controlled environments -
Part 9: Classification of surface cleanliness
by particle concentration
(IDT)
ГОСТ Р ИСО 14644-9-2013
Группа Т 58
ОКС 13.040.01
19.020
ОКП 63 1000
94 1000
Дата введения
1 декабря 2014 года
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода на русский язык стандарта, указанного в пункте 4
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты"
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 22 ноября 2013 г. N 1657-ст
4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-9:2012 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц" (ISO 14644-9:2012 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration")
При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации, сведения о которых приведены в дополнительном приложении ДА
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru)
Введение
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают контроль загрязнения воздуха аэрозольными частицами в целях поддержания допустимого уровня загрязнений в чувствительных к ним процессах. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, применяются в электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой и других отраслях промышленности.
Международный стандарт ИСО 14644-9 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".
Комплекс международных стандартов ИСО 14644 состоит из следующих частей:
- часть 1. Классификация чистоты воздуха;
- часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1;
- часть 3. Методы испытаний;
- часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;
- часть 5. Эксплуатация;
- часть 6. Термины;
- часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);
- часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе;
- часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц;
- часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.
Требования к контролю биозагрязнений установлены комплексом стандартов ИСО 14698 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Контроль биозагрязнений", в состав которого входят:
- часть 1. Общие принципы и методы;
- часть 2. Анализ данных о биозагрязнениях.
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты твердых поверхностей по концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах. Рекомендации по методам контроля даны в приложениях A - D.
Настоящий стандарт применим ко всем типам твердых поверхностей чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, включая стены, потолки, полы, рабочие поверхности, инструменты, оборудование и сам продукт.
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (SCP) ограничена размерами частиц от 0,05 мкм до 500 мкм.
Настоящий стандарт не рассматривает:
- требования к поверхностям и их чистоте, определяемые технологическими процессами;
- методы очистки поверхности;
- характеристики материалов;
- закономерности, относящиеся к силам притяжения, возникающим при взаимодействии частицы с поверхностью, или процессам образования частиц, как правило, зависящим от времени и выполняемого процесса;
- статистические методы для классификации и испытаний;
- другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионный заряд, микробиологическая структура/состояние и т.д.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующий стандарт:
ИСО 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Термины и определения (ISO 14644-6:2007 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary).
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины и определения, приведенные в ИСО 14644-6:2007, а также следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 дескриптор для определенного диапазона размеров частиц (descriptor for specific particle size range): Дифференциальный дескриптор, характеризующий уровень чистоты поверхности (SCP) с учетом диапазона размеров частиц.
Примечание - Дескриптор также может быть использован для частиц, диапазоны размеров которых имеют особое значение, или частиц, размеры которых выходят за пределы классификации. В таком случае дескриптор определяется независимо или дополнительно к чистоте поверхностей (классам SCP).
3.2 метод прямого контроля (direct measurement method): Оценка загрязнений без каких-либо промежуточных этапов.
3.3 метод косвенного контроля (indirect measurement method): Оценка загрязнений, включая промежуточные этапы.
3.4 твердая поверхность (solid surface): Граничный слой между твердым телом и окружающей средой.
3.5 частица на поверхности (surface particle): Твердое и/или жидкое вещество, находящееся в непосредственном контакте и распределенное по поверхности, за исключением пленок, покрывающих всю поверхность.
Примечание - Частицы удерживаются на поверхности благодаря химическим и/или физическим взаимодействиям.
3.6 чистота поверхности по концентрации частиц, SCP (surface cleanliness by particle concentration, SCP): Характеристика поверхности по концентрации частиц на ней.
Примечание - Чистота поверхности зависит от свойств материала и конструкции, стрессовой нагрузки (комплекса нагрузок, оказывающих влияние на поверхность), условий окружающей среды и других факторов.
3.7 классификационное число, характеризующее чистоту поверхности по концентрации частиц (surface cleanliness by particle concentration class, SCP class): Число, соответствующее максимально допустимой концентрации частиц на поверхности (частиц/м2) для определенного размера частиц (от 1 до 8).
3.8 класс чистоты поверхности по концентрации частиц, класс SCP (surface cleanliness by particle concentration classification, SCP classification): Условное обозначение, указывающее на максимально допустимую концентрацию частиц определенного размера (частиц/м2) на поверхности. Обозначается как класс
Для просмотра документа целиком скачайте его >>>
